Sensori di densità dei gas e dei liquidi

I sensori di densità Truedyne integrano un microsistema MEMS a forma di omega (chip omega) che è il cuore del sensore e che è installato in un bypass interno al sensore.

Componente essenziale del chip omega è un tubo siliconico (micro-canale), appena più spesso di un capello, che viene fatto vibrare in un ambiente sotto vuoto.

Il chip determina la frequenza e la qualità della vibrazione del micro-canale riempito del fluido da analizzare: la frequenza di risonanza dipende dalla massa del fluido e quindi dalla sua densità.

Gli effetti della temperatura sono compensati con i valori misurati da una resistenza al platino integrata nel micro-canale.

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